gravure chimique du quartz

[Leena]

Bonjour;

Est ce que quelqu'un pourrais aider pour la gravure chimique du quartz, je ne trouve pas beaucoup de bibliographie sur ce sujet, j'ai besoin de graver 50microns, donc pas de gravure physique HELP

[darrigan]

Bonjour,

Gravure chimique, ce serait par exemple attaquer le quartz avec l'acide fluorhydrique.

Mais pourquoi pas une gravure physique, par exemple avec une ablation laser ? (gravure laser)

[Leena]

Faudrait l'avoir au labo surtout ^^ nous y a la RIE IBE et ICP, et puis la gravure au HF est trés lente

[Leena]

et puis la gravure physique grave très lentement aussi et pollue les battis donc à éviter, le labo refuse en tout cas

[ecolami]

Bonsoir,
La gravure chimique n'est possible qu'avec l'acide fluorhydrique OU le fluorure d'ammonium acide (=NH4F+HF).
Il n'y a pas d'autre possibilité. Il convient juste de prendre les précautions nécessaires.

[Leena]

thank youuu

[darrigan]

Cela dit, les bases fortes (NaOH, KOH) peuvent attaquer le verre à la longue… le quartz je n'en sais rien…